图1. Innofocus全球独创的智能激光纳米加工及原位三维折射率成像表征设备 nanoLAB H3D

Innofocus 全球独创的智能激光纳米加工及原位三维折射率成像表征设备nanoLAB H3D，是全球唯一可以进行原位三维折射率定量测量的激光纳米制造商用系统，可大幅降低光子学器件加工和表征所需的时间成本，同时显著提高了加工的精确性和可重复性。为当前光子学器件和集成光子学芯片的研发、制造和品质管理提供有效的解决方案，具有非常广泛和重要的应用价值。过去两年中，该设备受到全球众多科研院所和先进制造企业的青睐，销售业绩节节攀升，就是对其技术和产品功能双重领先的最佳证明。

图 2. Innofocus即将发布的光子学器件三维折射率成像表征专用设备HoloView 3DRI

此外，为了更好地响应“后摩尔定律”时代集成光子学芯片与器件的快速发展，Innofocus将于近期隆重发布光子学器件三维折射率成像表征专用设备HoloView 3DRI，从而更好地满足市场对光子学器件设计验证、加工制造、表征测量及品质管理的需求。

更多详细内容请见Innofocus官网：http://innofocus.com.au/in-situ-3d-refractive-index-characterization

https://innofocus.com.au/in-situ-3d-refractive-index-characterization/

HoloView 3DRI 原位三维折射率分布表征系统，可以通过原位检测实现三维折射率成像，帮助用户取得折射率随激光加工参数变化的定量数据，精确测量结构的折射率空间分布，表征精确度达到10^-4量级。用户可以使用该数据有效重构光学元器件的三维形貌，实现全局最优的光子学器件加工。

同时，原位表征避免了传统表征所需要（取下样品-表征-重新安装寻找加工区域-优化加工参数-再表征）的耗时循环迭代的过程。用户可以在加工样品的同时原位高速表征，定量设计、定量测量，快速优化迭代加工结果，为三维光波导等光子学器件乃至集成光子学芯片的加工提供了前所未有的便利，为激光纳米制造在光通信、光感知、光计算、光存储、生物医学、绿色能源等产业化应用提供智能制造和测量能力的有力支撑。

图3. 三维折射率分布原位表征成像