产品简介
C8000-30D是在不使用闪烁体的情况下直接在CCD中照射EUV和软X射线光子的结构。 通过照射高能光子,许多电子产生到CCD中,因此实现了高灵敏度检测。背照式CCD覆盖20 eV至10 keV的能量范围。
主要应用
▪ X射线显微术
▪ X射线光谱学
▪ 微型CT
▪ 极紫外光刻
▪ X射线能量分析
图像示例
参数指标
参数
| 指标
|
型号
| C8000-30D
|
有效像元数
| 640(H)×480(V)
|
像元尺寸
| 14μm(H)×14μm(V)
|
有效面积
| 8.96mm(H)×6.72mm(V)
|
满阱容量
| 30000 electrons
|
读出速度
| 31.4 frames/s
|
读出噪声
| 100 electrons(typ.)
|
冷却温度
| +5℃(Ambient
temperature:+20℃)
|
A/D转换器
| 12 bit
|