属分类: 运动控制>> 运动控制系统
关键词:气浮、运动控制、纳米定位、半导体检测、激光微加工
电 话:19800239780 (微信同步)邮 箱:sales@topphotonics.cn微信 :
产品特点
▪ 精密气浮平台实现超高平稳运动
▪ 直线电机结合了光学线性编码器
▪ 极低的亚微米量级平面度误差
▪ 高负载
产品应用
▪ 计量学
▪ 工业CT
▪ 光学检测
▪ CMM
▪ 平面度检测
型号参数
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